氯碱工业
氯堿工業
록감공업
CHLOR-ALKALI INDUSTRY
2010年
9期
1-4
,共4页
多晶硅%尾气回收%分离方法
多晶硅%尾氣迴收%分離方法
다정규%미기회수%분리방법
综述国内外多晶硅的生产工艺及尾气处理方法的研究进展,探讨生产多晶硅的常用6种工艺及其优缺点,重点阐述多晶硅尾气的分离回收技术、从开路控制到闭路控制的发展过程及闭路循环技术的优点.
綜述國內外多晶硅的生產工藝及尾氣處理方法的研究進展,探討生產多晶硅的常用6種工藝及其優缺點,重點闡述多晶硅尾氣的分離迴收技術、從開路控製到閉路控製的髮展過程及閉路循環技術的優點.
종술국내외다정규적생산공예급미기처리방법적연구진전,탐토생산다정규적상용6충공예급기우결점,중점천술다정규미기적분리회수기술、종개로공제도폐로공제적발전과정급폐로순배기술적우점.
