半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2008年
7期
1391-1395
,共5页
戴强%于奇%饶青%周伟%杨谟华
戴彊%于奇%饒青%週偉%楊謨華
대강%우기%요청%주위%양모화
微加速度计%梳齿间距%冲击与阶跃信号响应物理模型%可靠工作范围
微加速度計%梳齒間距%遲擊與階躍信號響應物理模型%可靠工作範圍
미가속도계%소치간거%충격여계약신호향응물리모형%가고공작범위
源于概率统计理论,针对梳齿电容的微细加工偏差,给出了当各梳齿间距偏差在一定范围内独立且均匀分布时.单边电容和双边电容驱动的硅微加速度计冲击与阶跃信号响应物理模型.经过有限元仿真和Monte Carlo模拟验证,结果表明理论模型与仿真值之差小于10%.模型指出,当梳齿间距偏差由0变化到20%,加速度计在受到冲击与阶跃加速度信号作用时,其可靠工作范围将比无偏差理想情况下降10%～15%.该模型可望应用于实际有加工偏差的微加速度计可靠工作范围预先评估与设计.
源于概率統計理論,針對梳齒電容的微細加工偏差,給齣瞭噹各梳齒間距偏差在一定範圍內獨立且均勻分佈時.單邊電容和雙邊電容驅動的硅微加速度計遲擊與階躍信號響應物理模型.經過有限元倣真和Monte Carlo模擬驗證,結果錶明理論模型與倣真值之差小于10%.模型指齣,噹梳齒間距偏差由0變化到20%,加速度計在受到遲擊與階躍加速度信號作用時,其可靠工作範圍將比無偏差理想情況下降10%～15%.該模型可望應用于實際有加工偏差的微加速度計可靠工作範圍預先評估與設計.
원우개솔통계이론,침대소치전용적미세가공편차,급출료당각소치간거편차재일정범위내독립차균균분포시.단변전용화쌍변전용구동적규미가속도계충격여계약신호향응물리모형.경과유한원방진화Monte Carlo모의험증,결과표명이론모형여방진치지차소우10%.모형지출,당소치간거편차유0변화도20%,가속도계재수도충격여계약가속도신호작용시,기가고공작범위장비무편차이상정황하강10%～15%.해모형가망응용우실제유가공편차적미가속도계가고공작범위예선평고여설계.
