真空
真空
진공
VACUUM
2010年
4期
13-16
,共4页
王健%李德杰%万媛%罗毅%查良镇
王健%李德傑%萬媛%囉毅%查良鎮
왕건%리덕걸%만원%라의%사량진
光伏电池%多晶硅薄膜%金属诱导晶化%磁控溅射%不连续铜薄膜
光伏電池%多晶硅薄膜%金屬誘導晶化%磁控濺射%不連續銅薄膜
광복전지%다정규박막%금속유도정화%자공천사%불련속동박막
为发展低成本的多晶硅薄膜太阳能电池,采用磁控溅射技术,通过选择不同极性的表面和改变衬底温度,在普通钠钙玻璃衬底上直接形成了不连续的金属铜薄膜.以该薄膜作为诱导金属,在高温真空条件下对磁控溅射的非晶硅薄膜实现了固相金属诱导晶化.根据X射线衍射仪和拉曼位移光谱仪的测试结果,诱导晶化产生硅薄膜的晶粒尺寸约56 nm,晶化率达到84%.
為髮展低成本的多晶硅薄膜太暘能電池,採用磁控濺射技術,通過選擇不同極性的錶麵和改變襯底溫度,在普通鈉鈣玻璃襯底上直接形成瞭不連續的金屬銅薄膜.以該薄膜作為誘導金屬,在高溫真空條件下對磁控濺射的非晶硅薄膜實現瞭固相金屬誘導晶化.根據X射線衍射儀和拉曼位移光譜儀的測試結果,誘導晶化產生硅薄膜的晶粒呎吋約56 nm,晶化率達到84%.
위발전저성본적다정규박막태양능전지,채용자공천사기술,통과선택불동겁성적표면화개변츤저온도,재보통납개파리츤저상직접형성료불련속적금속동박막.이해박막작위유도금속,재고온진공조건하대자공천사적비정규박막실현료고상금속유도정화.근거X사선연사의화랍만위이광보의적측시결과,유도정화산생규박막적정립척촌약56 nm,정화솔체도84%.
