激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2011年
6期
784-786,836
,共4页
杨初平%纪婧如%谭穗妍%林盈洪
楊初平%紀婧如%譚穗妍%林盈洪
양초평%기청여%담수연%림영홍
信息光学%平整度检测%条纹分析%漫反射材料
信息光學%平整度檢測%條紋分析%漫反射材料
신식광학%평정도검측%조문분석%만반사재료
为了对漫反射材料小尺寸平面的平整度进行检测,提出采用载频条纹相位分析的方法.该方法采用激光作为照明光源,通过相干获得周期为100μm的条纹,使用傅里叶变换条纹相位分析提取待测表面的调制相位并可以转换为表面高度分布,从而能够实现对材料表面平整度的评价.结果表明,系统高度分辨力为10μ m;考虑到噪声的影响,实际分辨力可以达到20μm.所给出的实际实验结果显示该方法是可行的.
為瞭對漫反射材料小呎吋平麵的平整度進行檢測,提齣採用載頻條紋相位分析的方法.該方法採用激光作為照明光源,通過相榦穫得週期為100μm的條紋,使用傅裏葉變換條紋相位分析提取待測錶麵的調製相位併可以轉換為錶麵高度分佈,從而能夠實現對材料錶麵平整度的評價.結果錶明,繫統高度分辨力為10μ m;攷慮到譟聲的影響,實際分辨力可以達到20μm.所給齣的實際實驗結果顯示該方法是可行的.
위료대만반사재료소척촌평면적평정도진행검측,제출채용재빈조문상위분석적방법.해방법채용격광작위조명광원,통과상간획득주기위100μm적조문,사용부리협변환조문상위분석제취대측표면적조제상위병가이전환위표면고도분포,종이능구실현대재료표면평정도적평개.결과표명,계통고도분변력위10μ m;고필도조성적영향,실제분변력가이체도20μm.소급출적실제실험결과현시해방법시가행적.
