光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
3期
492-498
,共7页
张金平%张学军%张忠玉%郑立功
張金平%張學軍%張忠玉%鄭立功
장금평%장학군%장충옥%정립공
Shack-Hartmann波前传感器%轮廓仪%非球面反射镜%大口径反射镜%相对测量
Shack-Hartmann波前傳感器%輪廓儀%非毬麵反射鏡%大口徑反射鏡%相對測量
Shack-Hartmann파전전감기%륜곽의%비구면반사경%대구경반사경%상대측량
针对大口径非球面反射镜在研磨阶段后期其面形与理想面形存在较大偏差,且表面粗糙度较大、反射率较低,采用轮廓仪和普通干涉仪检测无法满足测试要求等问题,提出采用动态范围大且精度高的Shack-Hartmann波前传感器来检测大口径非球面反射镜.研究分析了Shack-Hartmann波前传感器检测系统的原理及系统误差并编写了相应的数据处理软件.为了验证该方法的可行性,对已经加工完成的350 mm口径旋转对称双曲面面形进行了检测,测量得到的面形误差PV值、RMS值分别为0.388λ、0.043λ(λ=632.8 nm)；与干涉测量的标准结果进行了对比,得到的面形偏差PV值、RMS值分别为0.014λ和0.001λ.对比结果表明,Shack-Hartmann波前传感器的测量结果正确可靠,从而验证了Shack-Hartmann波前传感器检测大口径非球面反射镜的可行性.
針對大口徑非毬麵反射鏡在研磨階段後期其麵形與理想麵形存在較大偏差,且錶麵粗糙度較大、反射率較低,採用輪廓儀和普通榦涉儀檢測無法滿足測試要求等問題,提齣採用動態範圍大且精度高的Shack-Hartmann波前傳感器來檢測大口徑非毬麵反射鏡.研究分析瞭Shack-Hartmann波前傳感器檢測繫統的原理及繫統誤差併編寫瞭相應的數據處理軟件.為瞭驗證該方法的可行性,對已經加工完成的350 mm口徑鏇轉對稱雙麯麵麵形進行瞭檢測,測量得到的麵形誤差PV值、RMS值分彆為0.388λ、0.043λ(λ=632.8 nm)；與榦涉測量的標準結果進行瞭對比,得到的麵形偏差PV值、RMS值分彆為0.014λ和0.001λ.對比結果錶明,Shack-Hartmann波前傳感器的測量結果正確可靠,從而驗證瞭Shack-Hartmann波前傳感器檢測大口徑非毬麵反射鏡的可行性.
침대대구경비구면반사경재연마계단후기기면형여이상면형존재교대편차,차표면조조도교대、반사솔교저,채용륜곽의화보통간섭의검측무법만족측시요구등문제,제출채용동태범위대차정도고적Shack-Hartmann파전전감기래검측대구경비구면반사경.연구분석료Shack-Hartmann파전전감기검측계통적원리급계통오차병편사료상응적수거처리연건.위료험증해방법적가행성,대이경가공완성적350 mm구경선전대칭쌍곡면면형진행료검측,측량득도적면형오차PV치、RMS치분별위0.388λ、0.043λ(λ=632.8 nm)；여간섭측량적표준결과진행료대비,득도적면형편차PV치、RMS치분별위0.014λ화0.001λ.대비결과표명,Shack-Hartmann파전전감기적측량결과정학가고,종이험증료Shack-Hartmann파전전감기검측대구경비구면반사경적가행성.
