传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2006年
12期
85-88
,共4页
张永华%王艳%丁桂甫%马骏%赵小林%蔡炳初
張永華%王豔%丁桂甫%馬駿%趙小林%蔡炳初
장영화%왕염%정계보%마준%조소림%채병초
微电子机械系统%电磁型微驱动器%双稳态%有限元法%仿真分析
微電子機械繫統%電磁型微驅動器%雙穩態%有限元法%倣真分析
미전자궤계계통%전자형미구동기%쌍은태%유한원법%방진분석
提出并设计了具有双稳态功能的新型电磁型MEMS微驱动器结构形式.微驱动器由导磁的两端固支的扭梁、两端可自由摆动的悬臂梁,以及永磁体、下磁路和平面线圈组成.永磁体的使用,实现了器件的双稳态功能,从而可以得到低功耗的磁驱动器.通电线圈用来实现器件的姿态转换.对设计的器件进行了电磁仿真分析,验证了器件的双稳态机制,分析表明:铁芯的存在对器件功能有决定性的影响.
提齣併設計瞭具有雙穩態功能的新型電磁型MEMS微驅動器結構形式.微驅動器由導磁的兩耑固支的扭樑、兩耑可自由襬動的懸臂樑,以及永磁體、下磁路和平麵線圈組成.永磁體的使用,實現瞭器件的雙穩態功能,從而可以得到低功耗的磁驅動器.通電線圈用來實現器件的姿態轉換.對設計的器件進行瞭電磁倣真分析,驗證瞭器件的雙穩態機製,分析錶明:鐵芯的存在對器件功能有決定性的影響.
제출병설계료구유쌍은태공능적신형전자형MEMS미구동기결구형식.미구동기유도자적량단고지적뉴량、량단가자유파동적현비량,이급영자체、하자로화평면선권조성.영자체적사용,실현료기건적쌍은태공능,종이가이득도저공모적자구동기.통전선권용래실현기건적자태전환.대설계적기건진행료전자방진분석,험증료기건적쌍은태궤제,분석표명:철심적존재대기건공능유결정성적영향.
