功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2010年
8期
1364-1366,1371
,共4页
席力%周军军%孙青锦%卢建敏%张喆%李发伸
席力%週軍軍%孫青錦%盧建敏%張喆%李髮伸
석력%주군군%손청금%로건민%장철%리발신
纳米晶%真空磁场退火%软磁薄膜
納米晶%真空磁場退火%軟磁薄膜
납미정%진공자장퇴화%연자박막
利用射频磁控共溅射方法,通过改变Nd靶溅射功率,制备了一系列Ta/Ndx(FeCo)100-x/Ta纳米薄膜.研究了其结构和磁性随Nd含量和真空磁场退火温度(T)的变化关系.X射线衍射研究表明制备态的薄膜为非晶态,随着退火温度的升高,逐渐析出FeCo纳米晶,随T的进一步升高,FeCo纳米晶粒逐渐变大,而且在薄膜中生成了FeCoNd合金纳米晶.利用振动样品磁强计研究了纳米薄膜的静态磁性,结果表明,饱和磁化强度随着Nd含量的升高而降低.经真空磁场热处理的样品都表现出很好的面内磁各向异性,在Ta/Nd20(FeCo80)/Ta样品中获得了易轴矫顽力135.32A/m,难轴矫顽力为199A/m,各向异性场为8166.96A/m的优异静态磁性,表明在高频领域具有很好的潜在应用前景.
利用射頻磁控共濺射方法,通過改變Nd靶濺射功率,製備瞭一繫列Ta/Ndx(FeCo)100-x/Ta納米薄膜.研究瞭其結構和磁性隨Nd含量和真空磁場退火溫度(T)的變化關繫.X射線衍射研究錶明製備態的薄膜為非晶態,隨著退火溫度的升高,逐漸析齣FeCo納米晶,隨T的進一步升高,FeCo納米晶粒逐漸變大,而且在薄膜中生成瞭FeCoNd閤金納米晶.利用振動樣品磁彊計研究瞭納米薄膜的靜態磁性,結果錶明,飽和磁化彊度隨著Nd含量的升高而降低.經真空磁場熱處理的樣品都錶現齣很好的麵內磁各嚮異性,在Ta/Nd20(FeCo80)/Ta樣品中穫得瞭易軸矯頑力135.32A/m,難軸矯頑力為199A/m,各嚮異性場為8166.96A/m的優異靜態磁性,錶明在高頻領域具有很好的潛在應用前景.
이용사빈자공공천사방법,통과개변Nd파천사공솔,제비료일계렬Ta/Ndx(FeCo)100-x/Ta납미박막.연구료기결구화자성수Nd함량화진공자장퇴화온도(T)적변화관계.X사선연사연구표명제비태적박막위비정태,수착퇴화온도적승고,축점석출FeCo납미정,수T적진일보승고,FeCo납미정립축점변대,이차재박막중생성료FeCoNd합금납미정.이용진동양품자강계연구료납미박막적정태자성,결과표명,포화자화강도수착Nd함량적승고이강저.경진공자장열처리적양품도표현출흔호적면내자각향이성,재Ta/Nd20(FeCo80)/Ta양품중획득료역축교완력135.32A/m,난축교완력위199A/m,각향이성장위8166.96A/m적우이정태자성,표명재고빈영역구유흔호적잠재응용전경.