微纳电子技术
微納電子技術
미납전자기술
MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
2003年
7期
51-53
,共3页
微型机电系统%加工工艺模型%工艺集成化设计%工艺可视化%三维重构
微型機電繫統%加工工藝模型%工藝集成化設計%工藝可視化%三維重構
미형궤전계통%가공공예모형%공예집성화설계%공예가시화%삼유중구
针对目前MEMS 设计复杂,直观性差等问题,提出了工艺集成化设计和可视化的可行性解决方案,对其中的关键技术进行了研究,并基于所提出的方案研究了工艺设计的集成化和可视化的实现技术.首先对MEMS 表面加工工艺进行了详细的分析,采用面向过程的方法建立了表面工艺过程的统一模型.基于这一模型,研究了MEMS 工艺设计的集成化技术,实现了工艺设计中各种信息的集成化,并设计开发了工艺设计的集成化软件环境.最后,对工艺设计中的二维版图的三维重构算法进行了详细的研究,通过Solil Works API接口的开发,在Solil Works的环境下实现了工艺过程的三维可视化.
針對目前MEMS 設計複雜,直觀性差等問題,提齣瞭工藝集成化設計和可視化的可行性解決方案,對其中的關鍵技術進行瞭研究,併基于所提齣的方案研究瞭工藝設計的集成化和可視化的實現技術.首先對MEMS 錶麵加工工藝進行瞭詳細的分析,採用麵嚮過程的方法建立瞭錶麵工藝過程的統一模型.基于這一模型,研究瞭MEMS 工藝設計的集成化技術,實現瞭工藝設計中各種信息的集成化,併設計開髮瞭工藝設計的集成化軟件環境.最後,對工藝設計中的二維版圖的三維重構算法進行瞭詳細的研究,通過Solil Works API接口的開髮,在Solil Works的環境下實現瞭工藝過程的三維可視化.
침대목전MEMS 설계복잡,직관성차등문제,제출료공예집성화설계화가시화적가행성해결방안,대기중적관건기술진행료연구,병기우소제출적방안연구료공예설계적집성화화가시화적실현기술.수선대MEMS 표면가공공예진행료상세적분석,채용면향과정적방법건립료표면공예과정적통일모형.기우저일모형,연구료MEMS 공예설계적집성화기술,실현료공예설계중각충신식적집성화,병설계개발료공예설계적집성화연건배경.최후,대공예설계중적이유판도적삼유중구산법진행료상세적연구,통과Solil Works API접구적개발,재Solil Works적배경하실현료공예과정적삼유가시화.
