河南建材
河南建材
하남건재
HENAN BUILDING MATERIALS
2004年
4期
7-9
,共3页
直流磁控反应溅射%紫外-可见光谱仪%光学带隙
直流磁控反應濺射%紫外-可見光譜儀%光學帶隙
직류자공반응천사%자외-가견광보의%광학대극
利用紫外-可见光谱仪对直流磁控反应溅射工艺参数对SnO2:Sb薄膜光学带隙的影响进行了研究.结果表明:SnO2:Sb薄膜的光学带隙随着溅射功率的增加而减小,随着氧气分压的增加而增大,随着退火温度的增加而增大.同时,工艺参数还对薄膜的其它性质有影响.
利用紫外-可見光譜儀對直流磁控反應濺射工藝參數對SnO2:Sb薄膜光學帶隙的影響進行瞭研究.結果錶明:SnO2:Sb薄膜的光學帶隙隨著濺射功率的增加而減小,隨著氧氣分壓的增加而增大,隨著退火溫度的增加而增大.同時,工藝參數還對薄膜的其它性質有影響.
이용자외-가견광보의대직류자공반응천사공예삼수대SnO2:Sb박막광학대극적영향진행료연구.결과표명:SnO2:Sb박막적광학대극수착천사공솔적증가이감소,수착양기분압적증가이증대,수착퇴화온도적증가이증대.동시,공예삼수환대박막적기타성질유영향.
