仪器仪表学报
儀器儀錶學報
의기의표학보
CHINESE JOURNAL OF SCIENTIFIC INSTRUMENT
2006年
3期
285-289
,共5页
吴天准%董景新%刘云峰%赵长德
吳天準%董景新%劉雲峰%趙長德
오천준%동경신%류운봉%조장덕
微机电系统%梳齿式微加速度计%性能分析%量程%稳定性%线性度%分辨率%参数设计
微機電繫統%梳齒式微加速度計%性能分析%量程%穩定性%線性度%分辨率%參數設計
미궤전계통%소치식미가속도계%성능분석%량정%은정성%선성도%분변솔%삼수설계
为定量研究梳齿式微加速度计闭环系统的性能和参数设计准则,通过静平衡方程得到闭环系统输出公式,由此公式推导出灵敏度、最大预载、最佳预载、量程、稳定性、线性度、分辨率等公式.分析了机械和电气参数变化对性能的影响,根据性能指标提出参数的优化准则和设计公式.
為定量研究梳齒式微加速度計閉環繫統的性能和參數設計準則,通過靜平衡方程得到閉環繫統輸齣公式,由此公式推導齣靈敏度、最大預載、最佳預載、量程、穩定性、線性度、分辨率等公式.分析瞭機械和電氣參數變化對性能的影響,根據性能指標提齣參數的優化準則和設計公式.
위정량연구소치식미가속도계폐배계통적성능화삼수설계준칙,통과정평형방정득도폐배계통수출공식,유차공식추도출령민도、최대예재、최가예재、량정、은정성、선성도、분변솔등공식.분석료궤계화전기삼수변화대성능적영향,근거성능지표제출삼수적우화준칙화설계공식.
