传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2006年
5期
1810-1814
,共5页
揣荣岩%刘晓为%潘慧艳%王蔚%张颍
揣榮巖%劉曉為%潘慧豔%王蔚%張潁
췌영암%류효위%반혜염%왕위%장영
多晶硅%纳米薄膜%压阻特性%淀积温度%应变系数
多晶硅%納米薄膜%壓阻特性%澱積溫度%應變繫數
다정규%납미박막%압조특성%정적온도%응변계수
重掺杂多晶硅纳米薄膜具有较大的应变系数和良好的温度特性,是制作力学量传感器的理想压阻材料.为优化多晶硅纳米薄膜的压阻特性,就淀积温度对低压化学气相淀积多晶硅纳米薄膜的压阻特性的影响进行了实验研究.在扫描电镜观测和X射线衍射实验基础上,利用隧道压阻模型分析了薄膜结构和压阻特性的关系.结果表明薄膜结构对应变系数的影响非常显著,但对应变系数的温度特性影响却很小.综合淀积温度对压阻特性和电导特性的影响,多晶硅纳米薄膜的最佳淀积温度在620℃左右.
重摻雜多晶硅納米薄膜具有較大的應變繫數和良好的溫度特性,是製作力學量傳感器的理想壓阻材料.為優化多晶硅納米薄膜的壓阻特性,就澱積溫度對低壓化學氣相澱積多晶硅納米薄膜的壓阻特性的影響進行瞭實驗研究.在掃描電鏡觀測和X射線衍射實驗基礎上,利用隧道壓阻模型分析瞭薄膜結構和壓阻特性的關繫.結果錶明薄膜結構對應變繫數的影響非常顯著,但對應變繫數的溫度特性影響卻很小.綜閤澱積溫度對壓阻特性和電導特性的影響,多晶硅納米薄膜的最佳澱積溫度在620℃左右.
중참잡다정규납미박막구유교대적응변계수화량호적온도특성,시제작역학량전감기적이상압조재료.위우화다정규납미박막적압조특성,취정적온도대저압화학기상정적다정규납미박막적압조특성적영향진행료실험연구.재소묘전경관측화X사선연사실험기출상,이용수도압조모형분석료박막결구화압조특성적관계.결과표명박막결구대응변계수적영향비상현저,단대응변계수적온도특성영향각흔소.종합정적온도대압조특성화전도특성적영향,다정규납미박막적최가정적온도재620℃좌우.
