实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2007年
3期
37-38
,共2页
扫描电镜%真空故障%诊断与排除
掃描電鏡%真空故障%診斷與排除
소묘전경%진공고장%진단여배제
扫描电子显微镜观察和X射线微区分析是近年来迅速发展起来的一项重要的分析技术.真空是电镜工作的一个最基本的保障,真空系统出现故障,则整个设备便处于瘫痪状态.该文主要描述了真空压力传感器Penning规管污染造成真空系统故障的表现及其解决方法.
掃描電子顯微鏡觀察和X射線微區分析是近年來迅速髮展起來的一項重要的分析技術.真空是電鏡工作的一箇最基本的保障,真空繫統齣現故障,則整箇設備便處于癱瘓狀態.該文主要描述瞭真空壓力傳感器Penning規管汙染造成真空繫統故障的錶現及其解決方法.
소묘전자현미경관찰화X사선미구분석시근년래신속발전기래적일항중요적분석기술.진공시전경공작적일개최기본적보장,진공계통출현고장,칙정개설비편처우탄탄상태.해문주요묘술료진공압력전감기Penning규관오염조성진공계통고장적표현급기해결방법.
