电加工与模具
電加工與模具
전가공여모구
ELECTROMACHINING & MOULD
2008年
2期
40-43
,共4页
温军战%汪炜%张丽宏%刘正埙
溫軍戰%汪煒%張麗宏%劉正壎
온군전%왕위%장려굉%류정훈
反应激波刻蚀%脉冲超声波%硅%湿法腐蚀%蚀除率
反應激波刻蝕%脈遲超聲波%硅%濕法腐蝕%蝕除率
반응격파각식%맥충초성파%규%습법부식%식제솔
提出基于脉冲超声波聚焦的反应激波刻蚀加工方法,采用大功率压电陶瓷激波发生器,在液体介质中产生聚焦脉冲超声波(频率1 MHz),由于传输过程中形成的非线性效应形成高能、瞬时压力激波,结合化学腐蚀方法,利用物理和声化学作用,使位于聚焦区域的材料迅速蚀除.采用激波、超声波和磁力搅拌3种不同方式对单晶硅进行刻蚀试验,结果表明反应激波刻蚀速率最快.在此基础上,进一步分析研究了腐蚀剂浓度、反应温度及激波功率等不同工艺参数对刻蚀速率的影响,并对反应激波刻蚀硅加工基本规律进行了探讨,为后续研究提拱了理论和试验基础.
提齣基于脈遲超聲波聚焦的反應激波刻蝕加工方法,採用大功率壓電陶瓷激波髮生器,在液體介質中產生聚焦脈遲超聲波(頻率1 MHz),由于傳輸過程中形成的非線性效應形成高能、瞬時壓力激波,結閤化學腐蝕方法,利用物理和聲化學作用,使位于聚焦區域的材料迅速蝕除.採用激波、超聲波和磁力攪拌3種不同方式對單晶硅進行刻蝕試驗,結果錶明反應激波刻蝕速率最快.在此基礎上,進一步分析研究瞭腐蝕劑濃度、反應溫度及激波功率等不同工藝參數對刻蝕速率的影響,併對反應激波刻蝕硅加工基本規律進行瞭探討,為後續研究提拱瞭理論和試驗基礎.
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