江苏大学学报（自然科学版）
江囌大學學報（自然科學版）
강소대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF JIANGSU UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2009年
2期
143-146
,共4页
许晓静%夏登福%卓刘成%郝欣妮%宗亮
許曉靜%夏登福%卓劉成%郝訢妮%宗亮
허효정%하등복%탁류성%학흔니%종량
镁合金%薄膜%纳米压痕%磨损%磁控溅射
鎂閤金%薄膜%納米壓痕%磨損%磁控濺射
미합금%박막%납미압흔%마손%자공천사
采用室温磁控溅射技术在镁合金(AZ91D)表面制备出SiC(碳化硅)薄膜,利用纳米压痕仪、摩擦磨损试验机对薄膜的纳米力学性能和膜基系统的摩擦磨损性能进行了研究.试验结果表明:此薄膜具有低纳米硬度(12.39 GPa)、低弹性模量(78.93 GPa)和高硬弹比(0.157);膜基系统具有好的摩擦磨损性能,在以氮化硅球为对磨件的室温干摩擦条件下磨损速率在10-5mm3·m-1·N-1级,摩擦系数约为0.248,薄膜未出现裂纹和剥落.分析表明,此膜基系统具有良好抗磨性能与其薄膜具有低的硬度和高的硬弹比、膜基系统具有好的弹性模量匹配是相一致的.SiC薄膜的低纳米硬度、低弹性模量系基材镁所致.
採用室溫磁控濺射技術在鎂閤金(AZ91D)錶麵製備齣SiC(碳化硅)薄膜,利用納米壓痕儀、摩抆磨損試驗機對薄膜的納米力學性能和膜基繫統的摩抆磨損性能進行瞭研究.試驗結果錶明:此薄膜具有低納米硬度(12.39 GPa)、低彈性模量(78.93 GPa)和高硬彈比(0.157);膜基繫統具有好的摩抆磨損性能,在以氮化硅毬為對磨件的室溫榦摩抆條件下磨損速率在10-5mm3·m-1·N-1級,摩抆繫數約為0.248,薄膜未齣現裂紋和剝落.分析錶明,此膜基繫統具有良好抗磨性能與其薄膜具有低的硬度和高的硬彈比、膜基繫統具有好的彈性模量匹配是相一緻的.SiC薄膜的低納米硬度、低彈性模量繫基材鎂所緻.
채용실온자공천사기술재미합금(AZ91D)표면제비출SiC(탄화규)박막,이용납미압흔의、마찰마손시험궤대박막적납미역학성능화막기계통적마찰마손성능진행료연구.시험결과표명:차박막구유저납미경도(12.39 GPa)、저탄성모량(78.93 GPa)화고경탄비(0.157);막기계통구유호적마찰마손성능,재이담화규구위대마건적실온간마찰조건하마손속솔재10-5mm3·m-1·N-1급,마찰계수약위0.248,박막미출현렬문화박락.분석표명,차막기계통구유량호항마성능여기박막구유저적경도화고적경탄비、막기계통구유호적탄성모량필배시상일치적.SiC박막적저납미경도、저탄성모량계기재미소치.
