液晶与显示
液晶與顯示
액정여현시
CHINESE JOURNAL OF LIQUID CRYSTALS AND DISPLAYS
2009年
3期
389-392
,共4页
王新%向嵘%任新光%李野%姜德龙%端木庆铎
王新%嚮嶸%任新光%李野%薑德龍%耑木慶鐸
왕신%향영%임신광%리야%강덕룡%단목경탁
氧化铟锡%磁控溅射%X射线衍射%透光率%电阻率
氧化銦錫%磁控濺射%X射線衍射%透光率%電阻率
양화인석%자공천사%X사선연사%투광솔%전조솔
对采用磁控溅射方法生长在玻璃和柔性聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)塑料上的氧化铟锡(ITO)薄膜的结构、光学和电学特性进行了对比研究.在两种不同的衬底上均得到了不分相的、高质量的多晶ITO薄膜,其中生长在玻璃衬底上的ITO薄膜(002)衍射峰的半峰宽为0.24°,生长在PET衬底上的为0.28°.两种样品在可见光区都具有很高的透过率,其中玻璃衬底上生长的薄膜的透过率约为92%,PET上生长的薄膜的透过率高达87%.两种薄膜均具有良好的导电性,玻璃衬底上薄膜的电阻率为4.2×10-4Ω·cm,柔性PET衬底上薄膜的电阻率为4.7×10-4Ω·cm.实验结果证明,完全可以采用磁控溅射的方法在柔性衬底上生长出高质量的ITO薄膜.
對採用磁控濺射方法生長在玻璃和柔性聚對苯二甲痠乙二醇酯(PET)塑料上的氧化銦錫(ITO)薄膜的結構、光學和電學特性進行瞭對比研究.在兩種不同的襯底上均得到瞭不分相的、高質量的多晶ITO薄膜,其中生長在玻璃襯底上的ITO薄膜(002)衍射峰的半峰寬為0.24°,生長在PET襯底上的為0.28°.兩種樣品在可見光區都具有很高的透過率,其中玻璃襯底上生長的薄膜的透過率約為92%,PET上生長的薄膜的透過率高達87%.兩種薄膜均具有良好的導電性,玻璃襯底上薄膜的電阻率為4.2×10-4Ω·cm,柔性PET襯底上薄膜的電阻率為4.7×10-4Ω·cm.實驗結果證明,完全可以採用磁控濺射的方法在柔性襯底上生長齣高質量的ITO薄膜.
대채용자공천사방법생장재파리화유성취대분이갑산을이순지(PET)소료상적양화인석(ITO)박막적결구、광학화전학특성진행료대비연구.재량충불동적츤저상균득도료불분상적、고질량적다정ITO박막,기중생장재파리츤저상적ITO박막(002)연사봉적반봉관위0.24°,생장재PET츤저상적위0.28°.량충양품재가견광구도구유흔고적투과솔,기중파리츤저상생장적박막적투과솔약위92%,PET상생장적박막적투과솔고체87%.량충박막균구유량호적도전성,파리츤저상박막적전조솔위4.2×10-4Ω·cm,유성PET츤저상박막적전조솔위4.7×10-4Ω·cm.실험결과증명,완전가이채용자공천사적방법재유성츤저상생장출고질량적ITO박막.
