激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2010年
5期
670-672
,共3页
王庆%吴福全%郝殿中%齐瑞云%吴闻迪%彭捍东%尹延学
王慶%吳福全%郝殿中%齊瑞雲%吳聞迪%彭捍東%尹延學
왕경%오복전%학전중%제서운%오문적%팽한동%윤연학
薄膜%偏振分束镜%应力%光斑%消光比
薄膜%偏振分束鏡%應力%光斑%消光比
박막%편진분속경%응력%광반%소광비
为了研究应力对薄膜偏振分束镜性能的影响和减少应力的方法,通过在镀制分光膜之前预镀Al2O3过渡层,镀制过程中提高真空度、升高基底温度、减慢薄膜沉积速率,以及封装过程中采用光学光敏胶紫外光照射快速凝固法来减少薄膜应力.利用CCD采集了工艺改进前后薄膜偏振分束镜反射光和透射光的光斑图像,利用消光比测试系统测量了工艺改进前后薄膜偏振分束镜反射光和透射光的消光比.结果表明,改进工艺后反射光和透射光的光斑能量更加集中,散斑现象变小;反射光和透射光的消光比特性明显提高.由此可见,通过改进镀制工艺和封装工艺可以使薄膜偏振分束镜的指标达到使用要求.
為瞭研究應力對薄膜偏振分束鏡性能的影響和減少應力的方法,通過在鍍製分光膜之前預鍍Al2O3過渡層,鍍製過程中提高真空度、升高基底溫度、減慢薄膜沉積速率,以及封裝過程中採用光學光敏膠紫外光照射快速凝固法來減少薄膜應力.利用CCD採集瞭工藝改進前後薄膜偏振分束鏡反射光和透射光的光斑圖像,利用消光比測試繫統測量瞭工藝改進前後薄膜偏振分束鏡反射光和透射光的消光比.結果錶明,改進工藝後反射光和透射光的光斑能量更加集中,散斑現象變小;反射光和透射光的消光比特性明顯提高.由此可見,通過改進鍍製工藝和封裝工藝可以使薄膜偏振分束鏡的指標達到使用要求.
위료연구응력대박막편진분속경성능적영향화감소응력적방법,통과재도제분광막지전예도Al2O3과도층,도제과정중제고진공도、승고기저온도、감만박막침적속솔,이급봉장과정중채용광학광민효자외광조사쾌속응고법래감소박막응력.이용CCD채집료공예개진전후박막편진분속경반사광화투사광적광반도상,이용소광비측시계통측량료공예개진전후박막편진분속경반사광화투사광적소광비.결과표명,개진공예후반사광화투사광적광반능량경가집중,산반현상변소;반사광화투사광적소광비특성명현제고.유차가견,통과개진도제공예화봉장공예가이사박막편진분속경적지표체도사용요구.
