应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2012年
1期
14-18,43
,共6页
三维轮廓测量%共焦显微镜%轴向扫描%变焦液体透镜
三維輪廓測量%共焦顯微鏡%軸嚮掃描%變焦液體透鏡
삼유륜곽측량%공초현미경%축향소묘%변초액체투경
共焦显微技术越来越广泛地应用于微机电系统和半导体器件的三维轮廓测量.设计一种新型采用变焦透镜作为轴向扫描方式的共焦显微系统,利用变焦透镜的焦距变化来代替传统的轴向位移扫描.系统实现了无机械运动的轴向扫描,消除了传统共焦系统中由位移台移动带来的振动,不仅减小了系统的复杂度,而且降低了成本.进一步设计了基于位移台和变焦透镜的两种共焦检测系统,并且对其进行了仿真实验.实验结果表明:基于位移台和基于变焦透镜的共焦系统的聚焦成像和离焦成像结果类似,并且光强的轴向分布曲线也基本相同,表明此方法可行.
共焦顯微技術越來越廣汎地應用于微機電繫統和半導體器件的三維輪廓測量.設計一種新型採用變焦透鏡作為軸嚮掃描方式的共焦顯微繫統,利用變焦透鏡的焦距變化來代替傳統的軸嚮位移掃描.繫統實現瞭無機械運動的軸嚮掃描,消除瞭傳統共焦繫統中由位移檯移動帶來的振動,不僅減小瞭繫統的複雜度,而且降低瞭成本.進一步設計瞭基于位移檯和變焦透鏡的兩種共焦檢測繫統,併且對其進行瞭倣真實驗.實驗結果錶明:基于位移檯和基于變焦透鏡的共焦繫統的聚焦成像和離焦成像結果類似,併且光彊的軸嚮分佈麯線也基本相同,錶明此方法可行.
공초현미기술월래월엄범지응용우미궤전계통화반도체기건적삼유륜곽측량.설계일충신형채용변초투경작위축향소묘방식적공초현미계통,이용변초투경적초거변화래대체전통적축향위이소묘.계통실현료무궤계운동적축향소묘,소제료전통공초계통중유위이태이동대래적진동,불부감소료계통적복잡도,이차강저료성본.진일보설계료기우위이태화변초투경적량충공초검측계통,병차대기진행료방진실험.실험결과표명:기우위이태화기우변초투경적공초계통적취초성상화리초성상결과유사,병차광강적축향분포곡선야기본상동,표명차방법가행.
