激光诱导击穿光谱在材料表面分析领域中的应用进展
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Application Progress of Laser-Induced Breakdown Spectroscopy for Surface Analysis in Materials Science Field
  • 万方数据
    光谱学与光谱分析 광보학여광보분석
    SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS
    2012年 6期 1441-1446 ,共6页

    张勇%贾云海%陈吉文%刘英%沈学静%赵雷%王书明%于洪%韩鹏程%屈华阳%刘少尊

    장용%가운해%진길문%류영%침학정%조뢰%왕서명%우홍%한붕정%굴화양%류소존

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    激光诱导击穿光谱作为表面分析工具是近十年发展起来的,对表面分析基础理论、仪器装置及其在材料科学领域中的应用进行详细的综述.重点阐述了激光诱导击穿光谱在国内外冶金、半导体、电子等材料科学领域中的元素分布分析及镀层分析应用进展,指出激光束单个脉冲能量、环境气体及气压、激光束能量分布等参数对分辨率的影响,同时指出在兼顾灵敏度的前提下提高分辨率的途径.与传统经典表面分析工具相比较具有扫描面积大、分析速度快及样品导电与否均可分析等优点,成为传统表面分析工具的有力补充.
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