微电子学
微電子學
미전자학
MICROELECTRONICS
2012年
5期
721-724
,共4页
唐政维%徐佳%张志华%左娇%谢欢%罗嵘
唐政維%徐佳%張誌華%左嬌%謝歡%囉嶸
당정유%서가%장지화%좌교%사환%라영
放电管%半导体器件%多元胞
放電管%半導體器件%多元胞
방전관%반도체기건%다원포
介绍了一种分布式多元胞集成半导体放电管的结构设计和工艺方法.在保持传统单元胞放电管器件表面总面积和放电管纵向剖面NPNPN五层结构不变的情况下,将放电管发射区等分成2(N+1)2个(N取0,1,2,3,4),构成在基区中心对称的多元胞结构.该结构优化了放电管阴极发射区的分布,使浪涌电流在整个芯片平面上趋于均匀,降低了发射区的热量集中效应；同时增加了电流放大系数,减少了放电管的开通时间.采用镓扩散、玻璃钝化等工艺流程,制作出分布式多元胞集成半导体放电管,解决了单元胞放电管散热不均匀、响应速度慢及可靠性差的问题.雷电波冲击电流测试表明,该结构提高了器件的抗电涌能力,可广泛应用于通信领域的雷电防护.
介紹瞭一種分佈式多元胞集成半導體放電管的結構設計和工藝方法.在保持傳統單元胞放電管器件錶麵總麵積和放電管縱嚮剖麵NPNPN五層結構不變的情況下,將放電管髮射區等分成2(N+1)2箇(N取0,1,2,3,4),構成在基區中心對稱的多元胞結構.該結構優化瞭放電管陰極髮射區的分佈,使浪湧電流在整箇芯片平麵上趨于均勻,降低瞭髮射區的熱量集中效應；同時增加瞭電流放大繫數,減少瞭放電管的開通時間.採用鎵擴散、玻璃鈍化等工藝流程,製作齣分佈式多元胞集成半導體放電管,解決瞭單元胞放電管散熱不均勻、響應速度慢及可靠性差的問題.雷電波遲擊電流測試錶明,該結構提高瞭器件的抗電湧能力,可廣汎應用于通信領域的雷電防護.
개소료일충분포식다원포집성반도체방전관적결구설계화공예방법.재보지전통단원포방전관기건표면총면적화방전관종향부면NPNPN오층결구불변적정황하,장방전관발사구등분성2(N+1)2개(N취0,1,2,3,4),구성재기구중심대칭적다원포결구.해결구우화료방전관음겁발사구적분포,사랑용전류재정개심편평면상추우균균,강저료발사구적열량집중효응；동시증가료전류방대계수,감소료방전관적개통시간.채용가확산、파리둔화등공예류정,제작출분포식다원포집성반도체방전관,해결료단원포방전관산열불균균、향응속도만급가고성차적문제.뇌전파충격전류측시표명,해결구제고료기건적항전용능력,가엄범응용우통신영역적뇌전방호.
