真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2002年
4期
313-316
,共4页
赖倩茜%虞晓江%戴嘉维%李戈扬%宁兆元
賴倩茜%虞曉江%戴嘉維%李戈颺%寧兆元
뢰천천%우효강%대가유%리과양%저조원
TiN/NbN超晶格薄膜%调制结构%超硬度%交变应力场
TiN/NbN超晶格薄膜%調製結構%超硬度%交變應力場
TiN/NbN초정격박막%조제결구%초경도%교변응력장
为了研究纳米多层薄膜的超硬效应,采用反应溅射法制备从1.4 nm至27 nm不同调制周期的一系列TiN/NbN纳米多层膜.高分辨电子显微镜对薄膜的调制结构和界面生长方式的观察发现,TiN/NbN膜具有很好的调制结构,并呈现以面心立方晶体结构穿过调制界面外延生长的多晶超晶格结构特征.显微硬度测量表明,TiN/NbN纳米多层膜存在随调制周期变化的超硬效应.薄膜在调制周期为8.3 nm时达到HK39.0 GPa的最高硬度.分析认为,两种不同晶格常数的晶体外延生长形成的交变应力场,对材料有强化作用,这是TiN/NbN纳米多层膜产生超硬效应的主要原因.
為瞭研究納米多層薄膜的超硬效應,採用反應濺射法製備從1.4 nm至27 nm不同調製週期的一繫列TiN/NbN納米多層膜.高分辨電子顯微鏡對薄膜的調製結構和界麵生長方式的觀察髮現,TiN/NbN膜具有很好的調製結構,併呈現以麵心立方晶體結構穿過調製界麵外延生長的多晶超晶格結構特徵.顯微硬度測量錶明,TiN/NbN納米多層膜存在隨調製週期變化的超硬效應.薄膜在調製週期為8.3 nm時達到HK39.0 GPa的最高硬度.分析認為,兩種不同晶格常數的晶體外延生長形成的交變應力場,對材料有彊化作用,這是TiN/NbN納米多層膜產生超硬效應的主要原因.
위료연구납미다층박막적초경효응,채용반응천사법제비종1.4 nm지27 nm불동조제주기적일계렬TiN/NbN납미다층막.고분변전자현미경대박막적조제결구화계면생장방식적관찰발현,TiN/NbN막구유흔호적조제결구,병정현이면심립방정체결구천과조제계면외연생장적다정초정격결구특정.현미경도측량표명,TiN/NbN납미다층막존재수조제주기변화적초경효응.박막재조제주기위8.3 nm시체도HK39.0 GPa적최고경도.분석인위,량충불동정격상수적정체외연생장형성적교변응력장,대재료유강화작용,저시TiN/NbN납미다층막산생초경효응적주요원인.
