多孔硅的微结构对其Raman谱的影响
다공규적미결구대기Raman보적영향
Effects of Micro-structure of Porous Silicon on Its Raman Spectra
  • 万方数据
    半导体光电 반도체광전
    SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
    2004年 3期 194-196 ,共3页

    刘小兵%史向华%柳毅%柳玥%王行军%丁训民%侯晓远

    류소병%사향화%류의%류모%왕행군%정훈민%후효원

    多孔硅%场发射扫描电镜%Raman谱%微结构 多孔硅%場髮射掃描電鏡%Raman譜%微結構
    다공규%장발사소묘전경%Raman보%미결구
    用场发射扫描电子显微镜研究了用直流化学腐蚀和脉冲电化学腐蚀方法制备的多孔硅(PS)的微结构,观察并测试了孔洞的垂直度、深度以及洞宽(直径),对PS的纵向微结构进行了二次电子图像和背散电子图像的分析.使用高灵敏的共焦显微Raman系统研究了纵向的Raman谱,同时分析了微结构对纵向Raman效应的影响.
    용장발사소묘전자현미경연구료용직류화학부식화맥충전화학부식방법제비적다공규(PS)적미결구,관찰병측시료공동적수직도、심도이급동관(직경),대PS적종향미결구진행료이차전자도상화배산전자도상적분석.사용고령민적공초현미Raman계통연구료종향적Raman보,동시분석료미결구대종향Raman효응적영향.
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