纳米技术时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI
납미기술시대적고단규기재료-SOI,sSOI화GOI
SOI,sSOI and GOI——advanced silicon-based materials for the nanotechnology era
  • 万方数据
    功能材料与器件学报 공능재료여기건학보
    JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
    2007年 4期 403-408 ,共6页

    林成鲁%刘卫丽

    림성로%류위려

    高端硅基材料%绝缘体上硅(SOI)%绝缘体上应变硅(sSOI)%绝缘体上锗(GOI) 高耑硅基材料%絕緣體上硅(SOI)%絕緣體上應變硅(sSOI)%絕緣體上鍺(GOI)
    고단규기재료%절연체상규(SOI)%절연체상응변규(sSOI)%절연체상타(GOI)
    本文综述了纳米时代的高端硅基材料-SOI,sSOI和GOI,并结合介绍了上海微系统所和上海新傲科技有限公司相关的研究工作.
    본문종술료납미시대적고단규기재료-SOI,sSOI화GOI,병결합개소료상해미계통소화상해신오과기유한공사상관적연구공작.
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