传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2008年
1期
39-40,48
,共3页
纳米金膜%吸附%巯基%平面电阻
納米金膜%吸附%巰基%平麵電阻
납미금막%흡부%구기%평면전조
纳米薄膜由于表面的高活性而具有一些特殊的性能,气敏特性就是最主要的性质之一.纳米金膜在吸附巯基化合物后,金膜的平面电阻会发生相应的变化.实验中,以真空离子溅射镀膜法在不同基材表面溅镀一层约 15nm 厚的金薄膜,通过桥式测量电路,研究了金膜吸附丙硫醇挥发气体后,由于平面电阻改变而引起的电流变化的规律和相关的影响因素.实验数据表明:纳米金膜能够对体积分数为 20×10-6的硫醇气体产生明显响应.
納米薄膜由于錶麵的高活性而具有一些特殊的性能,氣敏特性就是最主要的性質之一.納米金膜在吸附巰基化閤物後,金膜的平麵電阻會髮生相應的變化.實驗中,以真空離子濺射鍍膜法在不同基材錶麵濺鍍一層約 15nm 厚的金薄膜,通過橋式測量電路,研究瞭金膜吸附丙硫醇揮髮氣體後,由于平麵電阻改變而引起的電流變化的規律和相關的影響因素.實驗數據錶明:納米金膜能夠對體積分數為 20×10-6的硫醇氣體產生明顯響應.
납미박막유우표면적고활성이구유일사특수적성능,기민특성취시최주요적성질지일.납미금막재흡부구기화합물후,금막적평면전조회발생상응적변화.실험중,이진공리자천사도막법재불동기재표면천도일층약 15nm 후적금박막,통과교식측량전로,연구료금막흡부병류순휘발기체후,유우평면전조개변이인기적전류변화적규률화상관적영향인소.실험수거표명:납미금막능구대체적분수위 20×10-6적류순기체산생명현향응.
