半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
2008年
4期
304-307
,共4页
直拉法%硅单晶%振动
直拉法%硅單晶%振動
직랍법%규단정%진동
机械振动是直拉法单晶生长过程中不可避免的因素,影响单晶的正常生长.从生长机理方面看,传递到熔体的振动会引起熔体内对流的变化,对固-液界面的稳定性造成干扰,从而影响单晶的品质和无位错生长;从操作控制方面而言,熔体的振动会使引晶变得困难,也不利于等晶生长过程中的自动控制,造成了生产周期的相对延长,从而增加了生产成本.分析了实际生产过程中振动的来源及其对单晶生长的影响,并探讨了一些抑制振动的方法来消除这一影响.
機械振動是直拉法單晶生長過程中不可避免的因素,影響單晶的正常生長.從生長機理方麵看,傳遞到鎔體的振動會引起鎔體內對流的變化,對固-液界麵的穩定性造成榦擾,從而影響單晶的品質和無位錯生長;從操作控製方麵而言,鎔體的振動會使引晶變得睏難,也不利于等晶生長過程中的自動控製,造成瞭生產週期的相對延長,從而增加瞭生產成本.分析瞭實際生產過程中振動的來源及其對單晶生長的影響,併探討瞭一些抑製振動的方法來消除這一影響.
궤계진동시직랍법단정생장과정중불가피면적인소,영향단정적정상생장.종생장궤리방면간,전체도용체적진동회인기용체내대류적변화,대고-액계면적은정성조성간우,종이영향단정적품질화무위착생장;종조작공제방면이언,용체적진동회사인정변득곤난,야불리우등정생장과정중적자동공제,조성료생산주기적상대연장,종이증가료생산성본.분석료실제생산과정중진동적래원급기대단정생장적영향,병탐토료일사억제진동적방법래소제저일영향.
