西华师范大学学报（自然科学版）
西華師範大學學報（自然科學版）
서화사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHINA WEST NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2010年
1期
38-41,67
,共5页
高k栅介质%ErAlO%氧气退火
高k柵介質%ErAlO%氧氣退火
고k책개질%ErAlO%양기퇴화
利用射频磁控溅射法在P型Si(100)衬底上成功制备了非晶Er2O3-Al2O3(ErAlO)栅介质薄膜,得到了电学特性优异的薄膜样品,对薄膜的退火研究发现,600℃氧气氛退火可使ErAlO薄膜的介电常数得到了提高并使其漏电流特性也得到改善,退火后样品的有效介电常数达到了15,在-1.5 V偏压下,漏电流密度仅为2.0×10-7A/cm2.氧气退火消除了薄膜中原有的缺陷,并使得薄膜更加致密,表面更加平整.
利用射頻磁控濺射法在P型Si(100)襯底上成功製備瞭非晶Er2O3-Al2O3(ErAlO)柵介質薄膜,得到瞭電學特性優異的薄膜樣品,對薄膜的退火研究髮現,600℃氧氣氛退火可使ErAlO薄膜的介電常數得到瞭提高併使其漏電流特性也得到改善,退火後樣品的有效介電常數達到瞭15,在-1.5 V偏壓下,漏電流密度僅為2.0×10-7A/cm2.氧氣退火消除瞭薄膜中原有的缺陷,併使得薄膜更加緻密,錶麵更加平整.
이용사빈자공천사법재P형Si(100)츤저상성공제비료비정Er2O3-Al2O3(ErAlO)책개질박막,득도료전학특성우이적박막양품,대박막적퇴화연구발현,600℃양기분퇴화가사ErAlO박막적개전상수득도료제고병사기루전류특성야득도개선,퇴화후양품적유효개전상수체도료15,재-1.5 V편압하,루전류밀도부위2.0×10-7A/cm2.양기퇴화소제료박막중원유적결함,병사득박막경가치밀,표면경가평정.
