CAJ | 학술논문

以Al质量分数为2%的ZnO陶瓷靶为靶材,在氧气气氛中,采用脉冲激光沉积方法(PLD)在石英衬底表面生长了重掺杂的ZnO:Al(AZO)薄膜.通过X射线衍射仪、紫外可见分光光度计、微区拉曼光谱仪、霍尔测量仪对合成薄膜材料的晶体结构、光学、电学性质等进行了研究.结果表明:所制备的AZO薄膜呈现具有高度c轴择优取向的ZnO纤锌矿结构;重掺杂下的AZO显示了简并半导体的性质,电学呈现出了类金属特性;在可见光区域透过率＞80%,吸收边和紫外发光峰出现了明显的蓝移现象,被归结为重掺杂下引起的Burstein-Moss效应导致光学带隙展宽.
이Al질량분수위2%적ZnO도자파위파재,재양기기분중,채용맥충격광침적방법(PLD)재석영츤저표면생장료중참잡적ZnO:Al(AZO)박막.통과X사선연사의、자외가견분광광도계、미구랍만광보의、곽이측량의대합성박막재료적정체결구、광학、전학성질등진행료연구.결과표명:소제비적AZO박막정현구유고도c축택우취향적ZnO섬자광결구;중참잡하적AZO현시료간병반도체적성질,전학정현출료류금속특성;재가견광구역투과솔＞80%,흡수변화자외발광봉출현료명현적람이현상,피귀결위중참잡하인기적Burstein-Moss효응도치광학대극전관.