强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
7期
1761-1764
,共4页
王刚%马平%邱服民%胡江川%鄢定尧
王剛%馬平%邱服民%鬍江川%鄢定堯
왕강%마평%구복민%호강천%언정요
超声清洗%接触角%粗糙度%原子力显微镜形貌%表面微观状况
超聲清洗%接觸角%粗糙度%原子力顯微鏡形貌%錶麵微觀狀況
초성청세%접촉각%조조도%원자력현미경형모%표면미관상황
系统开展了光学元件超声清洗工艺的实验研究.通过研究超声清洗剂、清洗温度等工艺参数的优化,找到了能够有效祛除元件表面无机污染物和有机污染物的较佳超声清洗工艺,且超声清洗没有对光学元件表面产生损伤,清洗后的光学元件接触角小于6°,并不残留大于1 μm的颗粒,超声清洗对光学元件表面污染物的祛除能力远胜于手工清洗.
繫統開展瞭光學元件超聲清洗工藝的實驗研究.通過研究超聲清洗劑、清洗溫度等工藝參數的優化,找到瞭能夠有效祛除元件錶麵無機汙染物和有機汙染物的較佳超聲清洗工藝,且超聲清洗沒有對光學元件錶麵產生損傷,清洗後的光學元件接觸角小于6°,併不殘留大于1 μm的顆粒,超聲清洗對光學元件錶麵汙染物的祛除能力遠勝于手工清洗.
계통개전료광학원건초성청세공예적실험연구.통과연구초성청세제、청세온도등공예삼수적우화,조도료능구유효거제원건표면무궤오염물화유궤오염물적교가초성청세공예,차초성청세몰유대광학원건표면산생손상,청세후적광학원건접촉각소우6°,병불잔류대우1 μm적과립,초성청세대광학원건표면오염물적거제능력원성우수공청세.
