仪表技术与传感器
儀錶技術與傳感器
의표기술여전감기
INSTRUMENT TECHNIQUE AND SENSOR
2000年
3期
1-2,19
,共3页
郑露滴%A.Asundi%A.Q.Liu%F.Chollet
鄭露滴%A.Asundi%A.Q.Liu%F.Chollet
정로적%A.Asundi%A.Q.Liu%F.Chollet
多晶硅表面微机械%光学角速率传感器%微机电系统
多晶硅錶麵微機械%光學角速率傳感器%微機電繫統
다정규표면미궤계%광학각속솔전감기%미궤전계통
多晶硅表面微机械技术是微机电系统(Microeletromechanical Systems,MEMS)中重要的加工技术.本文采用这种加工技术,提出了一种基于Sagnac效应的新型微机械光学角速率传感器(Optical Rotation Sensor,ORS).由于采用MEMS的最新技术,它将是一种低成本、微型化的ORS.文中给出了ORS中环形谐振腔的设计和基本理论分析,并提出了电路和控制系统的设计.同时完成了ORS关键光学器件--可移动微反射镜的设计和研制工作.
多晶硅錶麵微機械技術是微機電繫統(Microeletromechanical Systems,MEMS)中重要的加工技術.本文採用這種加工技術,提齣瞭一種基于Sagnac效應的新型微機械光學角速率傳感器(Optical Rotation Sensor,ORS).由于採用MEMS的最新技術,它將是一種低成本、微型化的ORS.文中給齣瞭ORS中環形諧振腔的設計和基本理論分析,併提齣瞭電路和控製繫統的設計.同時完成瞭ORS關鍵光學器件--可移動微反射鏡的設計和研製工作.
다정규표면미궤계기술시미궤전계통(Microeletromechanical Systems,MEMS)중중요적가공기술.본문채용저충가공기술,제출료일충기우Sagnac효응적신형미궤계광학각속솔전감기(Optical Rotation Sensor,ORS).유우채용MEMS적최신기술,타장시일충저성본、미형화적ORS.문중급출료ORS중배형해진강적설계화기본이론분석,병제출료전로화공제계통적설계.동시완성료ORS관건광학기건--가이동미반사경적설계화연제공작.
