武汉化工学院学报
武漢化工學院學報
무한화공학원학보
JOURNAL OF WUHAN INSTITUTE OF CHEMICAL TECHNOLOGY
2003年
4期
57-59
,共3页
黄扬风%马志斌%汪建华%梅文明
黃颺風%馬誌斌%汪建華%梅文明
황양풍%마지빈%왕건화%매문명
金刚石薄膜%Cu/Ti过渡层%界面结构
金剛石薄膜%Cu/Ti過渡層%界麵結構
금강석박막%Cu/Ti과도층%계면결구
研究了硬质合金基底上Cu/Ti作过渡层化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜的界面特性.利用激光Raman谱分析了过渡层不同生长阶段金刚石薄膜的质量的影响.采用SEM、EDS对金刚石薄膜硬质合金刀具横截面的结构进行了研究.结果表明:基体中的Co被Cu/Ti作过渡层有效的抑制住;Cu向基体内的扩散改善了基体的性能,提高了界面层金刚石薄膜的质量;Ti的引入促进了金刚石的形核,减少了界面处晶粒间的空隙,提高了金刚石薄膜与基体表面的实际接触面积.
研究瞭硬質閤金基底上Cu/Ti作過渡層化學氣相沉積(CVD)金剛石薄膜的界麵特性.利用激光Raman譜分析瞭過渡層不同生長階段金剛石薄膜的質量的影響.採用SEM、EDS對金剛石薄膜硬質閤金刀具橫截麵的結構進行瞭研究.結果錶明:基體中的Co被Cu/Ti作過渡層有效的抑製住;Cu嚮基體內的擴散改善瞭基體的性能,提高瞭界麵層金剛石薄膜的質量;Ti的引入促進瞭金剛石的形覈,減少瞭界麵處晶粒間的空隙,提高瞭金剛石薄膜與基體錶麵的實際接觸麵積.
연구료경질합금기저상Cu/Ti작과도층화학기상침적(CVD)금강석박막적계면특성.이용격광Raman보분석료과도층불동생장계단금강석박막적질량적영향.채용SEM、EDS대금강석박막경질합금도구횡절면적결구진행료연구.결과표명:기체중적Co피Cu/Ti작과도층유효적억제주;Cu향기체내적확산개선료기체적성능,제고료계면층금강석박막적질량;Ti적인입촉진료금강석적형핵,감소료계면처정립간적공극,제고료금강석박막여기체표면적실제접촉면적.
