AlGaN PIN结构紫外探测器研制和建模分析
AlGaN PIN결구자외탐측기연제화건모분석
Analysis of model and fabrication of AlGaN based PIN ultraviolet detectors
  • 万方数据
    微纳电子技术 미납전자기술
    MICRONANOELECTRONIC TECHNOLOGY
    2003年 7期 422-425 ,共4页

    周劲%郝一龙%武国英

    주경%학일룡%무국영

    AlGaN%pin%紫外探测器 AlGaN%pin%紫外探測器
    AlGaN%pin%자외탐측기
    紫外探测器在军事高科技和民品市场的紫外通信和成像方面具有很高的价值.探讨了AlGaN pin 紫外探测器的制作工艺和材料及结构对器件性能的影响.提出改进pin紫外探测器性能的措施.
    자외탐측기재군사고과기화민품시장적자외통신화성상방면구유흔고적개치.탐토료AlGaN pin 자외탐측기적제작공예화재료급결구대기건성능적영향.제출개진pin자외탐측기성능적조시.
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