强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2005年
2期
271-274
,共4页
电子束%复合偏转%像差%畸变%像散
電子束%複閤偏轉%像差%畸變%像散
전자속%복합편전%상차%기변%상산
以电子束偏转磁场的像差和畸变为目标,对参量进行非劣解中找出贴近理想的最优解.以SDS-3电子束曝光机的磁复合偏转系统为基础,分析了像差与电子束主轨迹的关系.并给出了磁聚焦和静电的偏转场相复合情况下竖轴的3级几何像差系数和1级色差系数公式.应用中表明,复合系统结构简单紧凑,像差小而可以不用动态校正.
以電子束偏轉磁場的像差和畸變為目標,對參量進行非劣解中找齣貼近理想的最優解.以SDS-3電子束曝光機的磁複閤偏轉繫統為基礎,分析瞭像差與電子束主軌跡的關繫.併給齣瞭磁聚焦和靜電的偏轉場相複閤情況下豎軸的3級幾何像差繫數和1級色差繫數公式.應用中錶明,複閤繫統結構簡單緊湊,像差小而可以不用動態校正.
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