光子学报
光子學報
광자학보
ACTA PHOTONICA SINICA
2005年
3期
340-342
,共3页
凌磊%楼祺洪%李抒智%叶震寰%马海霞%董景星
凌磊%樓祺洪%李抒智%葉震寰%馬海霞%董景星
릉뢰%루기홍%리서지%협진환%마해하%동경성
YAG固体倍频激光%切割%Si片%水浴
YAG固體倍頻激光%切割%Si片%水浴
YAG고체배빈격광%절할%Si편%수욕
对Nd: YAG固体激光器倍频、三倍频激光输出在空气和水浴环境下刻蚀Si片进行了研究,分析了刻蚀速率和样品表面形貌,得出了在355 nm刻蚀波长下,水浴环境中,刻蚀速率最快,刻槽宽度最小,小于10 μm的实验结论,为工业应用提供参考.
對Nd: YAG固體激光器倍頻、三倍頻激光輸齣在空氣和水浴環境下刻蝕Si片進行瞭研究,分析瞭刻蝕速率和樣品錶麵形貌,得齣瞭在355 nm刻蝕波長下,水浴環境中,刻蝕速率最快,刻槽寬度最小,小于10 μm的實驗結論,為工業應用提供參攷.
대Nd: YAG고체격광기배빈、삼배빈격광수출재공기화수욕배경하각식Si편진행료연구,분석료각식속솔화양품표면형모,득출료재355 nm각식파장하,수욕배경중,각식속솔최쾌,각조관도최소,소우10 μm적실험결론,위공업응용제공삼고.
