光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2005年
z1期
69-75
,共7页
精密定位%分辨率%宏运动%微运动%纳米
精密定位%分辨率%宏運動%微運動%納米
정밀정위%분변솔%굉운동%미운동%납미
精密定位技术广泛应用于精密仪器、机械和机床、IC工艺制造、计算机外围设备.其特点是精度和分辨率高,台面尺寸从小到大,品种繁多,大多有自动化操作要求,需要集成许多高性能高品质机械零部件,高分辨力检测元器件,因此制作难度大,投资大.过去精密定位的精度和分辨率已从毫米量级过渡到了微米、从亚微米进入到了纳米量级.本文概述了获取高精度定位精度的支撑关键技术.介绍了基于宏微二级叠加方式的控制系统,研制的宏动工作台用精密滚珠丝杠螺母传动,由交流伺服驱动器驱动,配备反射式光栅检测元件,构成伺服反馈系统, 并对其实际误差曲线进行线性补偿之后,可将定位误差从76 μm降低到3 μm;再在宏动工作台面上安装高精度的微动载物台,由计算机进行宏微切换,从宏运动过渡到微运动方式,可实现大行程纳米量级精密定位.
精密定位技術廣汎應用于精密儀器、機械和機床、IC工藝製造、計算機外圍設備.其特點是精度和分辨率高,檯麵呎吋從小到大,品種繁多,大多有自動化操作要求,需要集成許多高性能高品質機械零部件,高分辨力檢測元器件,因此製作難度大,投資大.過去精密定位的精度和分辨率已從毫米量級過渡到瞭微米、從亞微米進入到瞭納米量級.本文概述瞭穫取高精度定位精度的支撐關鍵技術.介紹瞭基于宏微二級疊加方式的控製繫統,研製的宏動工作檯用精密滾珠絲槓螺母傳動,由交流伺服驅動器驅動,配備反射式光柵檢測元件,構成伺服反饋繫統, 併對其實際誤差麯線進行線性補償之後,可將定位誤差從76 μm降低到3 μm;再在宏動工作檯麵上安裝高精度的微動載物檯,由計算機進行宏微切換,從宏運動過渡到微運動方式,可實現大行程納米量級精密定位.
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