微计算机信息
微計算機信息
미계산궤신식
CONTROL & AUTOMATION
2008年
13期
48-50
,共3页
张延生%陈建辉%高凤岐%井建辉
張延生%陳建輝%高鳳岐%井建輝
장연생%진건휘%고봉기%정건휘
现场总线%ControlNet%PECVD
現場總線%ControlNet%PECVD
현장총선%ControlNet%PECVD
本文介绍了ControlNet总线技术特点,并将其应用到PECVD设备的控制系统中.试验结果表明,采用ControlNet总线控制技术,PECVD设备淀积薄膜的质量有明显地提高.
本文介紹瞭ControlNet總線技術特點,併將其應用到PECVD設備的控製繫統中.試驗結果錶明,採用ControlNet總線控製技術,PECVD設備澱積薄膜的質量有明顯地提高.
본문개소료ControlNet총선기술특점,병장기응용도PECVD설비적공제계통중.시험결과표명,채용ControlNet총선공제기술,PECVD설비정적박막적질량유명현지제고.
