真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
5期
437-440
,共4页
赵双琦%刘桂礼%李东%刘刚
趙雙琦%劉桂禮%李東%劉剛
조쌍기%류계례%리동%류강
石英晶片%镀膜%频率监控
石英晶片%鍍膜%頻率鑑控
석영정편%도막%빈솔감공
石英晶片镀膜是石英晶体谐振器生产中的重要工序之一,通过控制镀膜厚度使石英晶片谐振频率达到目标值.传统的镀膜采用时间控制方法,膜层厚度取决于镀源材料蒸发速率和镀膜时间,用该方法石英晶片谐振频率的控制精度较低.为提高石英晶片的镀膜精度,提出了基于晶体微量天平原理的晶片镀膜过程频率监控方案.重点探讨了镀膜过程中石英晶片和标晶谐振频率变化与镀膜厚度之问的关系,并通过实验给出石英晶片和标晶表面膜层沉积质量的比率关系.设计了监控晶片谐振频率的振荡器电路.实验证明,将研究的石英晶片镀膜监控技术应用于生产实际,可以显著提高镀膜后的石英晶片谐振频率的控制精度,具有较高的实际应用价值.
石英晶片鍍膜是石英晶體諧振器生產中的重要工序之一,通過控製鍍膜厚度使石英晶片諧振頻率達到目標值.傳統的鍍膜採用時間控製方法,膜層厚度取決于鍍源材料蒸髮速率和鍍膜時間,用該方法石英晶片諧振頻率的控製精度較低.為提高石英晶片的鍍膜精度,提齣瞭基于晶體微量天平原理的晶片鍍膜過程頻率鑑控方案.重點探討瞭鍍膜過程中石英晶片和標晶諧振頻率變化與鍍膜厚度之問的關繫,併通過實驗給齣石英晶片和標晶錶麵膜層沉積質量的比率關繫.設計瞭鑑控晶片諧振頻率的振盪器電路.實驗證明,將研究的石英晶片鍍膜鑑控技術應用于生產實際,可以顯著提高鍍膜後的石英晶片諧振頻率的控製精度,具有較高的實際應用價值.
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