传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2011年
7期
966-969
,共4页
硅基集成传感器芯片%水参数监测%MEMS%四电极式电导率测量
硅基集成傳感器芯片%水參數鑑測%MEMS%四電極式電導率測量
규기집성전감기심편%수삼수감측%MEMS%사전겁식전도솔측량
水参数的集成测量是水资源保护和海洋科学的基础,具有重要的意义.基于MEMS技术设计了流程简单、易于制备的铂电阻式温度传感器与圆环形四电极式电导率传感器集成芯片,采用专用的温度检定箱和双运放结构的测量电路分别对集成芯片的温度部分和电导率部分进行测试,得到了较好的测量结果.良好的线性曲线有利于后续的标定与应用.这款集成芯片避免了已有此类集成芯片的复杂工艺过程,通过批量制造技术可以使传感器成本降低,一致性提高.
水參數的集成測量是水資源保護和海洋科學的基礎,具有重要的意義.基于MEMS技術設計瞭流程簡單、易于製備的鉑電阻式溫度傳感器與圓環形四電極式電導率傳感器集成芯片,採用專用的溫度檢定箱和雙運放結構的測量電路分彆對集成芯片的溫度部分和電導率部分進行測試,得到瞭較好的測量結果.良好的線性麯線有利于後續的標定與應用.這款集成芯片避免瞭已有此類集成芯片的複雜工藝過程,通過批量製造技術可以使傳感器成本降低,一緻性提高.
수삼수적집성측량시수자원보호화해양과학적기출,구유중요적의의.기우MEMS기술설계료류정간단、역우제비적박전조식온도전감기여원배형사전겁식전도솔전감기집성심편,채용전용적온도검정상화쌍운방결구적측량전로분별대집성심편적온도부분화전도솔부분진행측시,득도료교호적측량결과.량호적선성곡선유리우후속적표정여응용.저관집성심편피면료이유차류집성심편적복잡공예과정,통과비량제조기술가이사전감기성본강저,일치성제고.
