材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
16期
136-139
,共4页
孙伟中%张浚源%赵成利%陈峰%苟富均
孫偉中%張浚源%趙成利%陳峰%茍富均
손위중%장준원%조성리%진봉%구부균
分子动力学%SiC%溅射%角度分布
分子動力學%SiC%濺射%角度分佈
분자동역학%SiC%천사%각도분포
采用分子动力学模拟方法研究了入射角度对Ar+与SiC样品表面相互作用的影响.由模拟结果可知,入射角度对样品原子溅射影响很大.随着入射角度的增大,Si原子和C原子的溅射量先增加后减小.相同入射角度下,Si原子的溅射阈值比C原子的小,Si原子的溅射量大于C原子的溅射量.初始样品在Ar+以不同角度轰击2000次后的形貌各异.产物中主要以Si原子和C原子为主,有少量的Si类和C类产物.入射角度对产物Si原子的角度分布几乎没有影响,而对产物C原子的角度分布有较小的影响.
採用分子動力學模擬方法研究瞭入射角度對Ar+與SiC樣品錶麵相互作用的影響.由模擬結果可知,入射角度對樣品原子濺射影響很大.隨著入射角度的增大,Si原子和C原子的濺射量先增加後減小.相同入射角度下,Si原子的濺射閾值比C原子的小,Si原子的濺射量大于C原子的濺射量.初始樣品在Ar+以不同角度轟擊2000次後的形貌各異.產物中主要以Si原子和C原子為主,有少量的Si類和C類產物.入射角度對產物Si原子的角度分佈幾乎沒有影響,而對產物C原子的角度分佈有較小的影響.
채용분자동역학모의방법연구료입사각도대Ar+여SiC양품표면상호작용적영향.유모의결과가지,입사각도대양품원자천사영향흔대.수착입사각도적증대,Si원자화C원자적천사량선증가후감소.상동입사각도하,Si원자적천사역치비C원자적소,Si원자적천사량대우C원자적천사량.초시양품재Ar+이불동각도굉격2000차후적형모각이.산물중주요이Si원자화C원자위주,유소량적Si류화C류산물.입사각도대산물Si원자적각도분포궤호몰유영향,이대산물C원자적각도분포유교소적영향.
