固体电子学研究与进展
固體電子學研究與進展
고체전자학연구여진전
RESEARCH & PROGRESS OF SOLID STATE ELECTRONICS
2012年
1期
58-63
,共6页
正面腐蚀%悬浮结构%各向异性
正麵腐蝕%懸浮結構%各嚮異性
정면부식%현부결구%각향이성
设计了三种正向开口方式为〈100〉向折线型、长条型、长短条复合型的悬浮膜系.在水浴温度80℃条件下,120 min后,〈100〉开口膜系由50％ KOH溶液各向异性腐蚀快速释放成形,获得完整无粘连的悬浮结构.在〈100〉快速腐蚀释放原理基础上,制备了基于〈100〉开口的测辐射热计与红外热电堆悬浮单元结构.
設計瞭三種正嚮開口方式為〈100〉嚮摺線型、長條型、長短條複閤型的懸浮膜繫.在水浴溫度80℃條件下,120 min後,〈100〉開口膜繫由50％ KOH溶液各嚮異性腐蝕快速釋放成形,穫得完整無粘連的懸浮結構.在〈100〉快速腐蝕釋放原理基礎上,製備瞭基于〈100〉開口的測輻射熱計與紅外熱電堆懸浮單元結構.
설계료삼충정향개구방식위〈100〉향절선형、장조형、장단조복합형적현부막계.재수욕온도80℃조건하,120 min후,〈100〉개구막계유50％ KOH용액각향이성부식쾌속석방성형,획득완정무점련적현부결구.재〈100〉쾌속부식석방원리기출상,제비료기우〈100〉개구적측복사열계여홍외열전퇴현부단원결구.
