CVD金刚石薄膜技术发展现状及展望(上)
CVD금강석박막기술발전현상급전망(상)
The current situation and development of CVD diamond film techniques
  • 万方数据
    超硬材料工程 초경재료공정
    SUPERHARD MATERIAL ENGINEERING
    2012年 2期 44-48 ,共5页

    杨德威%栗正新%苑执中

    양덕위%률정신%원집중

    超纳米金刚石膜%CVD金刚石大单晶%综述 超納米金剛石膜%CVD金剛石大單晶%綜述
    초납미금강석막%CVD금강석대단정%종술
    简要描述了CVD金刚石薄膜技术的发展历程.介绍了纳米特别是超纳米金刚石膜、CVD金刚石大单晶的技术特点及其应用.超纳米金刚石膜在MEMS(微机电系统)、电化学和生物医学上的应用和CVD金刚石大单晶是当前的研究热点.简言之,金刚石的发展向着更大或者更小的方向深入进行,即“非大即小”.
    간요묘술료CVD금강석박막기술적발전역정.개소료납미특별시초납미금강석막、CVD금강석대단정적기술특점급기응용.초납미금강석막재MEMS(미궤전계통)、전화학화생물의학상적응용화CVD금강석대단정시당전적연구열점.간언지,금강석적발전향착경대혹자경소적방향심입진행,즉“비대즉소”.
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