有机硅材料
有機硅材料
유궤규재료
SILICONE MATERIAL
2012年
3期
160-163
,共4页
何大伟%杜兴蓉%唐猷成%蒲晓东
何大偉%杜興蓉%唐猷成%蒲曉東
하대위%두흥용%당유성%포효동
改良西门子法%多晶硅%三氯氢硅%耗电量%还原炉%氢气%加压
改良西門子法%多晶硅%三氯氫硅%耗電量%還原爐%氫氣%加壓
개량서문자법%다정규%삼록경규%모전량%환원로%경기%가압
为了降低多晶硅生产成本,对多晶硅生产中的重要环节——三氯氢硅( SiHCl3)还原生成多晶硅工艺进行了改进,将还原炉操作压力由常压提高至0.6 MPa,比较了加压工艺与常压工艺在多晶硅的沉积速度、沉积时间、还原反应耗电量以及多晶硅产品质量等指标上的区别.结果表明,还原炉压力由常压(0.1MPa)提高至0.6 MPa、H2和SiHCl3的量之比降低至3.5～5/1、SiHCl3和H2混合气的最大流量增加至2000 kg/h、平均供气量约为980 kg/h时,多晶硅的沉积时间由200 h缩短至100 h；沉积速度由7～8 kg/h提高到20 kg/h,提高了150％以上；反应所需的单位耗电量也从135 kWh/kgSi降到75 kWh/kgSi,降幅达44％,从而大幅降低了多晶硅的生产成本；同时,产品质量也得到极大的提升.
為瞭降低多晶硅生產成本,對多晶硅生產中的重要環節——三氯氫硅( SiHCl3)還原生成多晶硅工藝進行瞭改進,將還原爐操作壓力由常壓提高至0.6 MPa,比較瞭加壓工藝與常壓工藝在多晶硅的沉積速度、沉積時間、還原反應耗電量以及多晶硅產品質量等指標上的區彆.結果錶明,還原爐壓力由常壓(0.1MPa)提高至0.6 MPa、H2和SiHCl3的量之比降低至3.5～5/1、SiHCl3和H2混閤氣的最大流量增加至2000 kg/h、平均供氣量約為980 kg/h時,多晶硅的沉積時間由200 h縮短至100 h；沉積速度由7～8 kg/h提高到20 kg/h,提高瞭150％以上；反應所需的單位耗電量也從135 kWh/kgSi降到75 kWh/kgSi,降幅達44％,從而大幅降低瞭多晶硅的生產成本；同時,產品質量也得到極大的提升.
위료강저다정규생산성본,대다정규생산중적중요배절——삼록경규( SiHCl3)환원생성다정규공예진행료개진,장환원로조작압력유상압제고지0.6 MPa,비교료가압공예여상압공예재다정규적침적속도、침적시간、환원반응모전량이급다정규산품질량등지표상적구별.결과표명,환원로압력유상압(0.1MPa)제고지0.6 MPa、H2화SiHCl3적량지비강저지3.5～5/1、SiHCl3화H2혼합기적최대류량증가지2000 kg/h、평균공기량약위980 kg/h시,다정규적침적시간유200 h축단지100 h；침적속도유7～8 kg/h제고도20 kg/h,제고료150％이상；반응소수적단위모전량야종135 kWh/kgSi강도75 kWh/kgSi,강폭체44％,종이대폭강저료다정규적생산성본；동시,산품질량야득도겁대적제승.
