光学仪器
光學儀器
광학의기
OPTICAL INSTRUMENTS
2012年
5期
40-44
,共5页
激光扫描系统%f-θ透镜%光学设计
激光掃描繫統%f-θ透鏡%光學設計
격광소묘계통%f-θ투경%광학설계
在激光扫描系统中f-θ透镜是重要的必不可少的部件,它在激光打标机、传真机、印刷机和用于制作半导体集成电路的激光图形发生器以及激光扫描精密计量设备等等光电系统中得到广泛的应用.文中设计了用于非接触在线检测工件尺寸的f-θ透镜.这种透镜的特点是一种负畸变透镜,属于像方远心光路,工作波长为单色光,像质要求波像差要小于λ/4,而且要求整个像面成平面且像质一致,无渐晕存在.所设计的f-θ透镜结构简单紧凑、焦距小、扫描精度高、加工成本较低,性能达到衍射极限,并具有像面上照度分布均匀,能量集中度高和相对畸变小等优点.
在激光掃描繫統中f-θ透鏡是重要的必不可少的部件,它在激光打標機、傳真機、印刷機和用于製作半導體集成電路的激光圖形髮生器以及激光掃描精密計量設備等等光電繫統中得到廣汎的應用.文中設計瞭用于非接觸在線檢測工件呎吋的f-θ透鏡.這種透鏡的特點是一種負畸變透鏡,屬于像方遠心光路,工作波長為單色光,像質要求波像差要小于λ/4,而且要求整箇像麵成平麵且像質一緻,無漸暈存在.所設計的f-θ透鏡結構簡單緊湊、焦距小、掃描精度高、加工成本較低,性能達到衍射極限,併具有像麵上照度分佈均勻,能量集中度高和相對畸變小等優點.
재격광소묘계통중f-θ투경시중요적필불가소적부건,타재격광타표궤、전진궤、인쇄궤화용우제작반도체집성전로적격광도형발생기이급격광소묘정밀계량설비등등광전계통중득도엄범적응용.문중설계료용우비접촉재선검측공건척촌적f-θ투경.저충투경적특점시일충부기변투경,속우상방원심광로,공작파장위단색광,상질요구파상차요소우λ/4,이차요구정개상면성평면차상질일치,무점훈존재.소설계적f-θ투경결구간단긴주、초거소、소묘정도고、가공성본교저,성능체도연사겁한,병구유상면상조도분포균균,능량집중도고화상대기변소등우점.
