强激光与粒子束
彊激光與粒子束
강격광여입자속
HIGH POWER LASER AND PARTICLEBEAMS
2012年
8期
1775-1779
,共5页
黄振芬%曹益平%陈德良%武迎春
黃振芬%曹益平%陳德良%武迎春
황진분%조익평%진덕량%무영춘
光刻%Kirk测量法%杂散光%点扩散函数%图像对比度
光刻%Kirk測量法%雜散光%點擴散函數%圖像對比度
광각%Kirk측량법%잡산광%점확산함수%도상대비도
采用Kirk测量法的杂散光模型研究了杂散光在不同线宽结构上杂散光的光强变化,通过图像对比度分析了杂散光对不同线宽结构的影响.基于Matlab软件仿真分析表明:线宽一定时,线条越稀疏,图像对比度越低,杂散光对成像图形分辨力的影响越大；线条线间比一定时,线宽尺寸越小,图像对比度越低,杂散光对成像图形分辨力的影响也越大.所以杂散光对线宽较小并且线条稀疏空间结构所成的图形造成的影响较大.
採用Kirk測量法的雜散光模型研究瞭雜散光在不同線寬結構上雜散光的光彊變化,通過圖像對比度分析瞭雜散光對不同線寬結構的影響.基于Matlab軟件倣真分析錶明:線寬一定時,線條越稀疏,圖像對比度越低,雜散光對成像圖形分辨力的影響越大；線條線間比一定時,線寬呎吋越小,圖像對比度越低,雜散光對成像圖形分辨力的影響也越大.所以雜散光對線寬較小併且線條稀疏空間結構所成的圖形造成的影響較大.
채용Kirk측량법적잡산광모형연구료잡산광재불동선관결구상잡산광적광강변화,통과도상대비도분석료잡산광대불동선관결구적영향.기우Matlab연건방진분석표명:선관일정시,선조월희소,도상대비도월저,잡산광대성상도형분변력적영향월대；선조선간비일정시,선관척촌월소,도상대비도월저,잡산광대성상도형분변력적영향야월대.소이잡산광대선관교소병차선조희소공간결구소성적도형조성적영향교대.
