CAJ | 학술논문

由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性，适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm<100>硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石薄膜作为绝缘隔离层，通过掩模选择性生长法得到掺硼金刚石薄膜电阻条，再经金属化处理和腐蚀硅压力腔，得到了压阻式金刚石压力微传感器的原型器件。对该器件的压力输出特性测量表明，输出电压—压力曲线线性较好，重复性好，常温下灵敏度高。
유우금강석박막구유우량적고온압조특성，괄합우제작고온압력전감기。재Φ50mm<100>규단정츤저상용열사CVD법생장본정다정금강석박막작위절연격리층，통과엄모선택성생장법득도참붕금강석박막전조조，재경금속화처리화부식규압력강，득도료압조식금강석압력미전감기적원형기건。대해기건적압력수출특성측량표명，수출전압—압력곡선선성교호，중복성호，상온하령민도고。