机械强度
機械彊度
궤계강도
JOURNAL OF MECHANICAL STRENGTH
2001年
4期
503-506
,共4页
王丛舜%张为斌%方竞%崔云俊%沈健%昌盛
王叢舜%張為斌%方競%崔雲俊%瀋健%昌盛
왕총순%장위빈%방경%최운준%침건%창성
微电子机械系统%力电耦合%残余应力%阈值电压
微電子機械繫統%力電耦閤%殘餘應力%閾值電壓
미전자궤계계통%력전우합%잔여응력%역치전압
力电耦合是大多数微电子机械系统(尤其是以静电驱动的微机械)的重要特征.文中采用有限元(FEM)结合边界元(BEM)的方法来混合求解MEMS中的力电耦合问题,利用自行研制的程序给出了几种典型构件(平行板、悬臂梁和固支梁)的分析结果,并同其他商业软件(ANSYS和Intellisuite)的计算结果进行比较.同时,还将这种分析方法应用到微继电器的设计和MEMS构件残余应力的检测中.
力電耦閤是大多數微電子機械繫統(尤其是以靜電驅動的微機械)的重要特徵.文中採用有限元(FEM)結閤邊界元(BEM)的方法來混閤求解MEMS中的力電耦閤問題,利用自行研製的程序給齣瞭幾種典型構件(平行闆、懸臂樑和固支樑)的分析結果,併同其他商業軟件(ANSYS和Intellisuite)的計算結果進行比較.同時,還將這種分析方法應用到微繼電器的設計和MEMS構件殘餘應力的檢測中.
력전우합시대다수미전자궤계계통(우기시이정전구동적미궤계)적중요특정.문중채용유한원(FEM)결합변계원(BEM)적방법래혼합구해MEMS중적력전우합문제,이용자행연제적정서급출료궤충전형구건(평행판、현비량화고지량)적분석결과,병동기타상업연건(ANSYS화Intellisuite)적계산결과진행비교.동시,환장저충분석방법응용도미계전기적설계화MEMS구건잔여응력적검측중.
