硅酸盐学报
硅痠鹽學報
규산염학보
JOURNAL OF THE CHINESE CERAMIC SOCIETY
2007年
5期
600-605
,共6页
周祥%赵青南%王鹏%赵修建
週祥%趙青南%王鵬%趙脩建
주상%조청남%왕붕%조수건
锑掺杂氧化锡薄膜%化学气相沉积%基板温度%基板输送速度%择优取向
銻摻雜氧化錫薄膜%化學氣相沉積%基闆溫度%基闆輸送速度%擇優取嚮
제참잡양화석박막%화학기상침적%기판온도%기판수송속도%택우취향
采用化学气相沉积法在镀有SiO2膜的钠钙硅玻璃基片上制备了Sb掺杂SnO2(antimony-doped tin oxide,ATO)薄膜.研究了基板温度、基板输送速度和氮气流量对ATO薄膜结构和性能的影响.用X射线衍射仪、扫描电镜、X射线光电子能谱仪、紫外-可见光谱仪、双光束红外分光光度计对薄膜的结构、形貌和成分进行了表征.结果表明:沉积温度为490 ℃以上时,薄膜主要以四方相金红石结构存在.随着基板输送速度的提高,薄膜择优取向由(110)转变为(200).薄膜中掺杂的Sb以Sb5+的形式存在;当基板温度为530 ℃时,薄膜表面的C没有完全燃尽,以C-O形式存在于薄膜中.薄膜的可见光透过率随基板温度的升高而增大.具有(110)择优取向的薄膜的红外反射性能较好.
採用化學氣相沉積法在鍍有SiO2膜的鈉鈣硅玻璃基片上製備瞭Sb摻雜SnO2(antimony-doped tin oxide,ATO)薄膜.研究瞭基闆溫度、基闆輸送速度和氮氣流量對ATO薄膜結構和性能的影響.用X射線衍射儀、掃描電鏡、X射線光電子能譜儀、紫外-可見光譜儀、雙光束紅外分光光度計對薄膜的結構、形貌和成分進行瞭錶徵.結果錶明:沉積溫度為490 ℃以上時,薄膜主要以四方相金紅石結構存在.隨著基闆輸送速度的提高,薄膜擇優取嚮由(110)轉變為(200).薄膜中摻雜的Sb以Sb5+的形式存在;噹基闆溫度為530 ℃時,薄膜錶麵的C沒有完全燃儘,以C-O形式存在于薄膜中.薄膜的可見光透過率隨基闆溫度的升高而增大.具有(110)擇優取嚮的薄膜的紅外反射性能較好.
채용화학기상침적법재도유SiO2막적납개규파리기편상제비료Sb참잡SnO2(antimony-doped tin oxide,ATO)박막.연구료기판온도、기판수송속도화담기류량대ATO박막결구화성능적영향.용X사선연사의、소묘전경、X사선광전자능보의、자외-가견광보의、쌍광속홍외분광광도계대박막적결구、형모화성분진행료표정.결과표명:침적온도위490 ℃이상시,박막주요이사방상금홍석결구존재.수착기판수송속도적제고,박막택우취향유(110)전변위(200).박막중참잡적Sb이Sb5+적형식존재;당기판온도위530 ℃시,박막표면적C몰유완전연진,이C-O형식존재우박막중.박막적가견광투과솔수기판온도적승고이증대.구유(110)택우취향적박막적홍외반사성능교호.
