材料导报
材料導報
재료도보
MATERIALS REVIEW
2011年
1期
22-25
,共4页
ZnO薄膜%p型化%点缺陷
ZnO薄膜%p型化%點缺陷
ZnO박막%p형화%점결함
ZnO是一种典型的直带隙宽禁带半导体材料,是下一代光电材料的代表.但由于P型化转变困难,使ZnO在光电领域的应用受到了极大限制.系统分析了ZnO的本征点缺陷结构和P型化转变方面的理论和实验研究成果,认为ZnO的n型电导应起源于本征点缺陷Zn或Vo.通过V族元素实现P型化转变的关键在于其稳定性,因此通过亚稳的点缺陷之间的相互作用实现相对较稳定的p-ZnO是V族元素掺杂实现P型化转变的研究方向.考虑到I族元素在ZnO中的固溶度较高且受主能级较浅,通过I族元素的掺杂实现高电导p-ZnO也是实现P型化转变的思路;但是Ⅰ族元素的掺杂会引起严重的自补偿,因此实现I族元素在ZnO晶格中的定位是Ⅰ族元素掺杂实现P型化转变的研究方向.
ZnO是一種典型的直帶隙寬禁帶半導體材料,是下一代光電材料的代錶.但由于P型化轉變睏難,使ZnO在光電領域的應用受到瞭極大限製.繫統分析瞭ZnO的本徵點缺陷結構和P型化轉變方麵的理論和實驗研究成果,認為ZnO的n型電導應起源于本徵點缺陷Zn或Vo.通過V族元素實現P型化轉變的關鍵在于其穩定性,因此通過亞穩的點缺陷之間的相互作用實現相對較穩定的p-ZnO是V族元素摻雜實現P型化轉變的研究方嚮.攷慮到I族元素在ZnO中的固溶度較高且受主能級較淺,通過I族元素的摻雜實現高電導p-ZnO也是實現P型化轉變的思路;但是Ⅰ族元素的摻雜會引起嚴重的自補償,因此實現I族元素在ZnO晶格中的定位是Ⅰ族元素摻雜實現P型化轉變的研究方嚮.
ZnO시일충전형적직대극관금대반도체재료,시하일대광전재료적대표.단유우P형화전변곤난,사ZnO재광전영역적응용수도료겁대한제.계통분석료ZnO적본정점결함결구화P형화전변방면적이론화실험연구성과,인위ZnO적n형전도응기원우본정점결함Zn혹Vo.통과V족원소실현P형화전변적관건재우기은정성,인차통과아은적점결함지간적상호작용실현상대교은정적p-ZnO시V족원소참잡실현P형화전변적연구방향.고필도I족원소재ZnO중적고용도교고차수주능급교천,통과I족원소적참잡실현고전도p-ZnO야시실현P형화전변적사로;단시Ⅰ족원소적참잡회인기엄중적자보상,인차실현I족원소재ZnO정격중적정위시Ⅰ족원소참잡실현P형화전변적연구방향.
