应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2011年
2期
373-376
,共4页
刘志超%卫耀伟%陈松林%马平
劉誌超%衛耀偉%陳鬆林%馬平
류지초%위요위%진송림%마평
激光损伤%原子层沉积%损伤阈值%损伤形态
激光損傷%原子層沉積%損傷閾值%損傷形態
격광손상%원자층침적%손상역치%손상형태
采用原子层沉积技术(atomic layer deposition,ALD)在熔石英和BK7玻璃基底上镀制A12O3单层膜.利用小口径损伤在线测试平台对膜层的1 064 nm 激光损伤特性进行了实脸测量,获得膜层损伤阈值约为10.3 J/cm2,对比了其与BK7基底损伤阈值之间的差异;利用Nomarski显微镜和原子力显微镜分析讨论了损伤形态的特点,结果表明报伤主要表现为膜层脱落和基片小孔烧蚀,其中小孔深度集中在 70 nm～95 nm范围;讨论了损伤发生的诱因,得出膜基界面可能存在吸收源先驱的推断.
採用原子層沉積技術(atomic layer deposition,ALD)在鎔石英和BK7玻璃基底上鍍製A12O3單層膜.利用小口徑損傷在線測試平檯對膜層的1 064 nm 激光損傷特性進行瞭實臉測量,穫得膜層損傷閾值約為10.3 J/cm2,對比瞭其與BK7基底損傷閾值之間的差異;利用Nomarski顯微鏡和原子力顯微鏡分析討論瞭損傷形態的特點,結果錶明報傷主要錶現為膜層脫落和基片小孔燒蝕,其中小孔深度集中在 70 nm～95 nm範圍;討論瞭損傷髮生的誘因,得齣膜基界麵可能存在吸收源先驅的推斷.
채용원자층침적기술(atomic layer deposition,ALD)재용석영화BK7파리기저상도제A12O3단층막.이용소구경손상재선측시평태대막층적1 064 nm 격광손상특성진행료실검측량,획득막층손상역치약위10.3 J/cm2,대비료기여BK7기저손상역치지간적차이;이용Nomarski현미경화원자력현미경분석토론료손상형태적특점,결과표명보상주요표현위막층탈락화기편소공소식,기중소공심도집중재 70 nm～95 nm범위;토론료손상발생적유인,득출막기계면가능존재흡수원선구적추단.
