厦门大学学报（自然科学版）
廈門大學學報（自然科學版）
하문대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF XIAMEN UNIVERSITY (NATURAL SCIENCE)
2012年
3期
353-359
,共7页
江毅文%杜晓辉%占瞻%徐布磊%吕文龙%王凌云%孙道恒
江毅文%杜曉輝%佔瞻%徐佈磊%呂文龍%王凌雲%孫道恆
강의문%두효휘%점첨%서포뢰%려문룡%왕릉운%손도항
谐振式%压力传感器%灵敏度%品质因子
諧振式%壓力傳感器%靈敏度%品質因子
해진식%압력전감기%령민도%품질인자
提出了一种基于侧向驱动的全对称谐振式压力传感器结构.谐振结构采用侧向梳齿电容驱动,既保证了驱动力的线性特性,又由于本身的空气阻尼为滑膜阻尼,可以取得较高的品质因子.另外,设计的差分电容结构能进一步提高器件的检测灵敏度.经过ANSYS 10.0的仿真分析总结出谐振结构固有频率受结构参数影响的规律,确定了量程为0～550 kPa的谐振式压力传感器具体尺寸,其灵敏度达到了22.602 Hz/kPa；分析了温度对谐振结构固有频率的影响,得到-20～60℃下的热灵敏度温度系数为-1.8233 Hz/℃,为后续的温度补偿提供依据；最后通过分析谐振结构的频域响应特性,最终确定了传感器的频域特性曲线以及不同阻尼比下传感器的品质因子.为谐振式压力传感器真空封装的真空度选择提供参考.
提齣瞭一種基于側嚮驅動的全對稱諧振式壓力傳感器結構.諧振結構採用側嚮梳齒電容驅動,既保證瞭驅動力的線性特性,又由于本身的空氣阻尼為滑膜阻尼,可以取得較高的品質因子.另外,設計的差分電容結構能進一步提高器件的檢測靈敏度.經過ANSYS 10.0的倣真分析總結齣諧振結構固有頻率受結構參數影響的規律,確定瞭量程為0～550 kPa的諧振式壓力傳感器具體呎吋,其靈敏度達到瞭22.602 Hz/kPa；分析瞭溫度對諧振結構固有頻率的影響,得到-20～60℃下的熱靈敏度溫度繫數為-1.8233 Hz/℃,為後續的溫度補償提供依據；最後通過分析諧振結構的頻域響應特性,最終確定瞭傳感器的頻域特性麯線以及不同阻尼比下傳感器的品質因子.為諧振式壓力傳感器真空封裝的真空度選擇提供參攷.
제출료일충기우측향구동적전대칭해진식압력전감기결구.해진결구채용측향소치전용구동,기보증료구동력적선성특성,우유우본신적공기조니위활막조니,가이취득교고적품질인자.령외,설계적차분전용결구능진일보제고기건적검측령민도.경과ANSYS 10.0적방진분석총결출해진결구고유빈솔수결구삼수영향적규률,학정료량정위0～550 kPa적해진식압력전감기구체척촌,기령민도체도료22.602 Hz/kPa；분석료온도대해진결구고유빈솔적영향,득도-20～60℃하적열령민도온도계수위-1.8233 Hz/℃,위후속적온도보상제공의거；최후통과분석해진결구적빈역향응특성,최종학정료전감기적빈역특성곡선이급불동조니비하전감기적품질인자.위해진식압력전감기진공봉장적진공도선택제공삼고.
