传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2004年
3期
446-448,394
,共4页
席文柱%闫卫平%马灵芝%牛德芳
席文柱%閆衛平%馬靈芝%牛德芳
석문주%염위평%마령지%우덕방
微流量传感器%微加热器%温度传感器%微机械电子系统
微流量傳感器%微加熱器%溫度傳感器%微機械電子繫統
미류량전감기%미가열기%온도전감기%미궤계전자계통
采用微电子技术和微机械加工技术,在硅衬底上设计制作了集微型加热器和温度传感器于一体的热流式微流量传感器.在恒功率的工作模式下,分析了微流量传感器的特性曲线.实验结果表明,硅基热流式微流量传感器的测量范围在10～800 μL/min之间.
採用微電子技術和微機械加工技術,在硅襯底上設計製作瞭集微型加熱器和溫度傳感器于一體的熱流式微流量傳感器.在恆功率的工作模式下,分析瞭微流量傳感器的特性麯線.實驗結果錶明,硅基熱流式微流量傳感器的測量範圍在10～800 μL/min之間.
채용미전자기술화미궤계가공기술,재규츤저상설계제작료집미형가열기화온도전감기우일체적열류식미류량전감기.재항공솔적공작모식하,분석료미류량전감기적특성곡선.실험결과표명,규기열류식미류량전감기적측량범위재10～800 μL/min지간.
