广西工学院学报
廣西工學院學報
엄서공학원학보
JOURNAL OF GUANGXI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY
2005年
4期
10-14
,共5页
粉体刻蚀%分布函数%等离子体纯化
粉體刻蝕%分佈函數%等離子體純化
분체각식%분포함수%등리자체순화
对圆筒形纯化反应器的等离子体鞘层进行了动力学分析,得出了鞘区内离子速度的分布函数和不同位置上的离子平均动能.理论计算结果与实验数据吻合较好,对理论和实验工作方面都具有一定的指导意义.
對圓筒形純化反應器的等離子體鞘層進行瞭動力學分析,得齣瞭鞘區內離子速度的分佈函數和不同位置上的離子平均動能.理論計算結果與實驗數據吻閤較好,對理論和實驗工作方麵都具有一定的指導意義.
대원통형순화반응기적등리자체초층진행료동역학분석,득출료초구내리자속도적분포함수화불동위치상적리자평균동능.이론계산결과여실험수거문합교호,대이론화실험공작방면도구유일정적지도의의.
